旋轉陰極濺射靶材

※產品名稱：旋轉陰極濺射靶材
※產品類別：材料
※產品功能：替代現有的平面陰極靶材，提升鍍膜效率及減少原材料的損耗；
※應用領域：適用于LCD、OLED、半導體行業磁控濺射/濺鍍工藝；
※產品特征：
            1.材料最大利用率: 超過70%
            2.靶面再沉積區域小
            3.無打弧現象
            4.無灰塵顆粒
            5.維護周期長